为了研究微电子或光子元件中的纳米级图案，一种基于无透镜成像的新方法可以实现近乎完美的高分辨率显微镜。这在波长短于紫外线时尤为重要，其成像空间分辨率高于可见光，但成像光学元件并不完美。最强大的无透镜成像形式称为层析成像，其工作原理是扫描激光束穿过样品，收集散射光，然后使用计算机算法重建样品的图像。