为了对同步相移横向剪切干涉系统中偏振器件的选型、装调以及误差补偿提供可靠的理论依据，本文根据琼斯矩阵原理，构建了系统中1/4波片和偏振片阵列误差对测量结果影响程度的误差模型，对四分之一波片的相位延迟误差、快轴方位角误差以及偏振片阵列透光轴方位角误差对测量结果的影响进行了定量分析。仿真结果表明：1/4波片的相位延迟误差在±1°以内时，波面测量误差为0.00002λ(PV)和0.000062λ(RMS)；1/4波片的调整精度在±2°以内时，波面测量误差为0.0001λ(PV)和0.00006λ(RMS)；偏振片阵列方位角误差在±1°以内时，测量误差为0.003λ(PV)和0.001λ(RMS)。根据仿真结果对测量系统中偏振元器件进行选型，同时选择两种不同精度的偏振元器件进行对比实验。实验结果的残差值与仿真结果的残差值的PV以及RMS值偏差均小于λ/20，可以在一定程度上验证模型的有效性。