集成光学系统具有如下优点：

①.光波在光波导中传播，光波容易控制和保持其能量。

②.集成化带来的稳固定位。如上所述，集成光学期待在同一块衬底上制作若干个器件，因而不存在离散光学器件所具有的组装问题，这样就可以保持稳定的组合，从而它对振动和温度等环境因素的适应性也比较强。

③.器件尺寸和相互作用长度缩短；相关的电子器件的工作电压也较低。

④.功率密度高。沿波导传输的光被限制在狭小的局部空间，导致较高的光功率密度，容易达到必要的器件工作阈值和利用非线性光学效应工作。

⑤.集成光学器件一般集成在厘米尺度的衬底上，其体积小，重量轻。